| 发明名称 |
MANUFACTURE OF HIGH DENSITY SILICON NITRIDE MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62207768(A) |
申请公布日期 |
1987.09.12 |
| 申请号 |
JP19860047194 |
申请日期 |
1986.03.06 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
FUJIKAWA TAKAO;MIYANAGA JUNICHI;INOUE YASUHIKO |
| 分类号 |
C04B35/593;C04B35/58;C04B35/645 |
主分类号 |
C04B35/593 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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