发明名称 APPARATUS FOR ION PROJECTOR
摘要
申请公布号 JPS62208632(A) 申请公布日期 1987.09.12
申请号 JP19870021643 申请日期 1987.01.31
申请人 II M S IOONEN MIKUROFUABURIKACHIONSU SYST GMBH 发明人 GERUHARUTO SHIYUTENGURU;HANSU RESHIYUNAA;PEETAA UORUFU
分类号 G03F7/20;H01J37/153;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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