发明名称 APPARATUS FOR AND METHOD OF MONITORING THE OPERATIONS OF A PLATING PROCESS
摘要
申请公布号 EP0151236(B1) 申请公布日期 1987.09.09
申请号 EP19840113317 申请日期 1984.11.06
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ACOSTA, RAUL EDMUNDO;YARMCHUK, EDWARD JOHN
分类号 C23C18/16;H05K3/18;C23C18/31;C23C18/40;G01B7/06;H05K1/02;H05K3/00;H05K3/24;(IPC1-7):G01R17/10 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
主权项
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