发明名称 MAGNETRON CATHODE SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0095211(B1) 申请公布日期 1987.09.09
申请号 EP19830200697 申请日期 1983.05.17
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 CROMBEEN, JACOBUS EDUARDUS;VISSER, JAN;THOMAS, GARY EVAN
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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