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发明名称 STRAHLUNGSBEHEIZUNGSANLAGE FUER VORZUGSWEISE SCHEIBENFOERMIGE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 DD249568(A1) 申请公布日期 1987.09.09
申请号 DD19860290719 申请日期 1986.05.29
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 KOEGLER,REINHARD,DD;ZOLLFRANK,LOTHAR,DD;VOELSKOW,MATTHIAS,DD;UHLIG,THOMAS,DD;HOFMANN,GUENTER,DD
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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