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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING METHOD AND MAGNETRON LAUNCHER OF PARTICLES
摘要
申请公布号 PL263611(A1) 申请公布日期 1987.09.07
申请号 PL19860263611 申请日期 1986.12.31
申请人 发明人
分类号 C23C;C23C14/34;C23C14/56;(IPC1-7):C23C/ 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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