发明名称 Method for controlling doping in vaporgrown semiconductor bodies
摘要
申请公布号 US3184348(A) 申请公布日期 1965.05.18
申请号 US19600079896 申请日期 1960.12.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MARINACE JOHN C.
分类号 H01L21/00;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/223 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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