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发明名称 Light projection electron beam writing system
摘要
申请公布号 US3209072(A) 申请公布日期 1965.09.28
申请号 US19610119712 申请日期 1961.06.26
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 JR. WILLIAM E. GLENN,
分类号 H01J31/24;H04N5/74;H04N5/82 主分类号 H01J31/24
代理机构 代理人
主权项
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