发明名称 FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV INTEGRERADE KRETSAR.
摘要
申请公布号 FI873795(A0) 申请公布日期 1987.09.01
申请号 FI19870003795 申请日期 1987.09.01
申请人 ARROWHEAD INDUSTRIAL WATER, INC.;MONSANTO COMPANY 发明人 TREMONT, PETER L.;ACKERMANN, ARTHUR J.
分类号 H01L21/02;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/762;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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