| 发明名称 |
MANUFACTURE OF STRUCTURAL EPITAXIAL LAYER ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62197395(A) |
申请公布日期 |
1987.09.01 |
| 申请号 |
JP19870035996 |
申请日期 |
1987.02.20 |
| 申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
FUORUKERU DOORUMAN;IENSU PEETAA KURUME |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C14/08;C23C14/34;C30B23/02;C30B23/08;C30B25/02;C30B25/06;C30B25/18;C30B29/28;H01F41/18;H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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