VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON SILIZIUM AUS SILICIUMTETRAFLUORID.,申请号CH19840003708-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON SILIZIUM AUS SILICIUMTETRAFLUORID.
摘要
申请公布号	CH661919(A5)	申请公布日期	1987.08.31
申请号	CH19840003708	申请日期	1983.11.07
申请人	SRI INTERNATIONAL	发明人	SANJURJO, ANGEL
分类号	C01B33/02;B01J19/26;C01B33/033;C22B5/04;C22B34/12;C22B34/14;C22B34/20;H01L31/18;(IPC1-7):C01B33/02;B22D21/06;B22F9/28;C22B5/00	主分类号	C01B33/02
代理机构		代理人
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