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发明名称 Verfahren zur Behandlung von Übergängen zwischen Gebieten unterschiedlicher Leitfähigkeit und/oder unterschiedlichen Leistungstyps
摘要
申请公布号 CH406445(A) 申请公布日期 1966.01.31
申请号 CH19620014926 申请日期 1962.12.19
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DR. SEITER,HARTMUT,DIPL.-CHEM.
分类号 C23F1/02;H01L21/00;H01L21/306;H01L29/00 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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