发明名称 PROCESS FOR MAKING AN IMPROVED DYNAMIC MEMORY CELL STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0167024(A3) 申请公布日期 1987.08.26
申请号 EP19850107133 申请日期 1985.06.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ISHAQ, MOUSA HANNA;NOBLE, WENDELL PHILLIPS, JR.
分类号 H01L27/10;H01L21/265;H01L21/3213;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/82 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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