| 发明名称 |
HEIGHT SETTING MECHANISM OF SURFACE OF MASK SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62194487(A) |
申请公布日期 |
1987.08.26 |
| 申请号 |
JP19860035226 |
申请日期 |
1986.02.21 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD |
发明人 |
IIZUKA NOBUYUKI;HONGO TSUTOMU;FUKUSHIMA TSUNEMI |
| 分类号 |
G12B5/00;G01N21/88;G02B7/28;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
G12B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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