发明名称
摘要
申请公布号 JPS62132423(U) 申请公布日期 1987.08.21
申请号 JP19860019340U 申请日期 1986.02.13
申请人 发明人
分类号 H01L41/20;G01D5/48;G01R17/00;(IPC1-7):G01D5/48 主分类号 H01L41/20
代理机构 代理人
主权项
地址