| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62190731(A) |
申请公布日期 |
1987.08.20 |
| 申请号 |
JP19870000258 |
申请日期 |
1987.01.06 |
| 申请人 |
ATLANTIC RICHFIELD CO <ARCO> |
发明人 |
ARETSUKUSU PII MOFUATSUTO;RICHIYAADO SHII JIYAKUSON |
| 分类号 |
H01L21/304;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02;B28D5/04;C30B33/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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