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发明名称 INTEGRATED CIRCUIT COMPATIBLE THIN FILM FIELD EFFECT TRANSISTOR AND METHOD OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 EP0161556(A3) 申请公布日期 1987.08.19
申请号 EP19850105035 申请日期 1985.04.25
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 OVSHINSKY, STANFORD R.;HUDGENS, STEPHEN J.
分类号 H01L21/324;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/04;H01L29/161;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;H01L29/56 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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