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发明名称
METHOD OF PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING ISOLATION REGIONS BETWEEN ELEMENTS
摘要
申请公布号
EP0116789(B1)
申请公布日期
1987.08.19
申请号
EP19830307977
申请日期
1983.12.23
申请人
FUJITSU LIMITED
发明人
GOTO, HIROSHI
分类号
H01L21/76;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/763;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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