发明名称 METHOD OF PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING ISOLATION REGIONS BETWEEN ELEMENTS
摘要
申请公布号 EP0116789(B1) 申请公布日期 1987.08.19
申请号 EP19830307977 申请日期 1983.12.23
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 GOTO, HIROSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/763;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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