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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP0167391(A3) 申请公布日期 1987.08.19
申请号 EP19850304719 申请日期 1985.07.02
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAKIMOTO, SEIZO;KUDO, JUN;KOBA, MASAYOSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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