发明名称 VAPOUR SOURCE ASSEMBLY
摘要
申请公布号 GB8716685(D0) 申请公布日期 1987.08.19
申请号 GB19870016685 申请日期 1987.07.15
申请人 BOC GROUP INC 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/30 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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