| 发明名称 |
EVALUATION OF SURFACE AND SUBSURFACE CHARACTERISTICS OF A SAMPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0200342(A3) |
申请公布日期 |
1987.08.19 |
| 申请号 |
EP19860302119 |
申请日期 |
1986.03.21 |
| 申请人 |
THERMA-WAVE INC. |
发明人 |
ROSENCWAIG, ALLAN;OPSAL, JON |
| 分类号 |
G01N23/225;G01N21/47;G01N21/84;G01N21/88;G01N25/72;(IPC1-7):G01N21/17;G01N25/00 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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