发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS62188229(A) 申请公布日期 1987.08.17
申请号 JP19860259567 申请日期 1986.10.30
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 KARIPATONAMU BIBETSUKU RAO;ARAN TOOMASU MITSUCHIERU;JIEEMUSU ERU PATAASON
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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