发明名称 |
MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS62188229(A) |
申请公布日期 |
1987.08.17 |
申请号 |
JP19860259567 |
申请日期 |
1986.10.30 |
申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
KARIPATONAMU BIBETSUKU RAO;ARAN TOOMASU MITSUCHIERU;JIEEMUSU ERU PATAASON |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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