| 发明名称 |
METHOD OF AUTOMATIC LOADING AND UNLOADING OF WAFER ON SUSCEPTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62188336(A) |
申请公布日期 |
1987.08.17 |
| 申请号 |
JP19860280937 |
申请日期 |
1986.11.27 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
CHIYAARUZU RII TORAN CHIYA;ARUBAATO DANIERU KORENTEI SHINIA;ROBAATO MAIKERU ERITSUKUSON |
| 分类号 |
H01L21/205;B65G47/91;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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