发明名称 METHOD FOR MANUFACTURE OF SUPERHIGH- FREQUENCY HYBRIDE INTEGRAL CURCUITS WITH THIN- LAYER RESISTORS
摘要
申请公布号 BG41799(A1) 申请公布日期 1987.08.14
申请号 BG19860074646 申请日期 1986.04.24
申请人 JAKIMOV,TIKHOMIR N.;SIMEONOVA,SVETLA V.;GRIGOROV,DIMITR Z. 发明人 JAKIMOV,TIKHOMIR N.;SIMEONOVA,SVETLA V.;GRIGOROV,DIMITR Z.
分类号 H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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