发明名称
摘要
申请公布号 DE3530758(C2) 申请公布日期 1987.08.13
申请号 DE19853530758 申请日期 1985.08.28
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 INAMI, YASUHIKO, NARA, JP;WATANABE, MASANORI, TENRI, NARA, JP;HIJIKIGAWA, MASAYA, YAMATOKORIYAMA, NARA, JP
分类号 G01N27/00;G01N27/02;G01N27/12;G01N27/22;G01N27/414;(IPC1-7):G01N27/12;H01L29/78 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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