| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER FABBRICARE MATERIALI SEMICONDUTTORI E RELATIVA APPARECCHIATURA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1175968(B) |
申请公布日期 |
1987.08.12 |
| 申请号 |
IT19840020408 |
申请日期 |
1984.04.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIROFUMI SHIMIZU;MASATO FUJITA;KAZUYA SUZUKI;FUMIAKI HANAGATA |
| 分类号 |
C30B15/14;C30B29/06;C30B33/00;C30B33/02;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
C30B15/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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