发明名称 |
IMPROVED SILICON NITRIDE AND MANUFACTURE |
摘要 |
An improved silicon nitride in an amorphous and crystalline state is described. |
申请公布号 |
JPS62182105(A) |
申请公布日期 |
1987.08.10 |
申请号 |
JP19860241566 |
申请日期 |
1986.10.13 |
申请人 |
BAYER AG |
发明人 |
BENNO RAUBATSUHA;GERUHARUTO FURANTSU;URURIIKE BITSUKERU;ROTAARU SHIEENFUERUDAA |
分类号 |
C01B21/068;C04B35/626 |
主分类号 |
C01B21/068 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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