发明名称 IMPROVED SILICON NITRIDE AND MANUFACTURE
摘要 An improved silicon nitride in an amorphous and crystalline state is described.
申请公布号 JPS62182105(A) 申请公布日期 1987.08.10
申请号 JP19860241566 申请日期 1986.10.13
申请人 BAYER AG 发明人 BENNO RAUBATSUHA;GERUHARUTO FURANTSU;URURIIKE BITSUKERU;ROTAARU SHIEENFUERUDAA
分类号 C01B21/068;C04B35/626 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
地址