CAPTEUR ACCELEROMETRIQUE ET ACCELEROMETRE LE COMPORTANT

摘要

L'invention concerne les transducteurs accélérométriques.
Elle se rapporte à un transducteur qui comporte une feuille 104 suspendue à des ressorts 103 et ayant des électrodes de commande 111 et des électrodes formant capteurs 112. Une masse 107 est suspendue par des ressorts 108 dans l'ouverture centrale de la feuille 104. La masse est décentrée. La totalité du transducteur est réalisée par des techniques photolithographiques utilisées pour la fabrication des dispositifs à semi-conducteurs.
Application à la fabrication des capteurs accélérométriques.
(CF DESSIN DANS BOPI)