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发明名称 DEVICE ISOLATION IN SILICON SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 IE52184(B1) 申请公布日期 1987.08.05
申请号 IE19810002339 申请日期 1981.10.06
申请人 ITT INDUSTRIES, INC. 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/10;H01L29/167;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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