| 发明名称 |
SIMPLIFIED PLANARIZATION PROCESS FOR POLYSILICON-FILLED TRENCHES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0166207(A3) |
申请公布日期 |
1987.08.05 |
| 申请号 |
EP19850106318 |
申请日期 |
1985.05.23 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
SHEPARD, JOSEPH F. |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3215;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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