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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62122861(U) 申请公布日期 1987.08.04
申请号 JP19860009914U 申请日期 1986.01.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/285;C23C14/32;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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