发明名称 Verwendung eines die Viskositaet erhoehenden Mittels in einer AEtzfluessigkeit
摘要
申请公布号 DE1246353(B) 申请公布日期 1967.08.03
申请号 DE196000S1426 申请日期 1960.11.26
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 EMEIS DIPL.-PHYS. DR.-ING. REIMER
分类号 C23F1/14;H01L21/306 主分类号 C23F1/14
代理机构 代理人
主权项
地址