发明名称 SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND METHOD OF CONVERTING REGIONS OF THE SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS62173792(A) 申请公布日期 1987.07.30
申请号 JP19870005858 申请日期 1987.01.13
申请人 XEROX CORP 发明人 NITSUKU HORONIYATSUKU JIYUNIA;ROBAATO DEII BAANAMU
分类号 H01L21/18;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324;H01L33/06;H01S5/00;H01S5/20;H01S5/223;H01S5/227;H01S5/323;H01S5/34;H01S5/343 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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