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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRONISCHEN VORRICHTUNG MIT EINER MEHRSCHICHTSTRUKTUR UND EINE HIERAUS ERHALTENE ELEKTRONISCHE VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3644654(A1) 申请公布日期 1987.07.30
申请号 DE19863644654 申请日期 1986.12.29
申请人 CANON K.K. 发明人 KANAI,MASAHIRO;HIROOKA,MASAAKI;HANNA,JUN-ICHI;SHIMIZU,ISAMU
分类号 H01L31/04;C23C16/22;C23C16/452;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/205;H01L31/18 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
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