Electron-beam machining of specimens and its control by X-ray radiation measurements,申请号US19630297125-传众专利搜索

发明名称	Electron-beam machining of specimens and its control by X-ray radiation measurements
摘要
申请公布号	US3355568(A)	申请公布日期	1967.11.28
申请号	US19630297125	申请日期	1963.07.23
申请人	KABUSHIKI KAISHA HITACHI SEISAKUSHO	发明人	HIRAI TADAMASA;UEDA HIROSHI;MUNAKATA CHUSUKE;WATANABE HIROSHI
分类号	G01N23/225;H01L21/00	主分类号	G01N23/225
代理机构		代理人
主权项
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