发明名称 METHOD OF FORMING A III-V SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 EP0173448(A3) 申请公布日期 1987.07.29
申请号 EP19850305235 申请日期 1985.07.23
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 CHAI, YOUNG GUI
分类号 H01L21/20;C30B23/02;C30B25/02;H01L21/268;(IPC1-7):C30B23/06;C30B29/40 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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