Vapor polishing of a semiconductor wafer,申请号US19640389017-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Vapor polishing of a semiconductor wafer
摘要
申请公布号	US3366520(A)	申请公布日期	1968.01.30
申请号	US19640389017	申请日期	1964.08.12
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	BERKENBLIT MELVIN;REISMAN ARNOLD
分类号	C23F3/00;H01L21/00;H01L21/302	主分类号	C23F3/00
代理机构		代理人
主权项
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