| 发明名称 |
SOURCE DE FAISCEAUX MOLECULAIRES |
| 摘要 |
<P>Dans la source de vaporisation selon l'invention, dans laquelle un dispositif de chauffage 12 est disposé autour d'un creuset 2 qui contient un métal à vaporiser, le dispositif de chauffage 12 est formé de parties rectilignes et de parties extrêmes en forme de U qui se répètent de façon continue à intervalles égaux, lesdites parties rectilignes sont agencées de façon à s'étendre dans le sens vertical du creuset 2, et les parties en U sont pliées vers l'extérieur à des positions localisées sur le pourtour externe d'une ouverture 2A du creuset. <BR/> (CF DESSIN DANS BOPI)<BR/> <BR/></P>
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| 申请公布号 |
FR2593344(A1) |
申请公布日期 |
1987.07.24 |
| 申请号 |
FR19870000597 |
申请日期 |
1987.01.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KUNIHIRO TAKAHASHI, KAZUMASA FUJIOHA ET NAOYUKI TAMURA;FUJIOHA KAZUMASA;TAMURA NAOYUKI |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/24;C23C14/26;C30B23/00;F27D99/00;H05B3/64;(IPC1-7):H05B3/62;F27B14/04;F27B14/14;H01L21/363 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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