发明名称 |
二氧化锡膜溶解法 |
摘要 |
一种溶解附在衬底材料表面的二氧化锡晶体薄膜的方法,在常温常压下将附有二氧化锡膜的衬底材料淹没于配制的溶液中处理后,迅速取出用纯水冲净。该溶液由按体积比为80—95%的浓盐酸和20—5%的浓氢氟酸以及按每立方米溶液加入150—200千克的钛丝组成。本发明操作简便,能迅速、完全溶解二氧化锡膜,不腐蚀衬底材料且成本低。 |
申请公布号 |
CN86100187A |
申请公布日期 |
1987.07.22 |
申请号 |
CN86100187 |
申请日期 |
1986.01.10 |
申请人 |
云南师范大学 |
发明人 |
施兆顺 |
分类号 |
H01L31/18;H01L21/302;H01L21/461;C23F1/30 |
主分类号 |
H01L31/18 |
代理机构 |
云南省专利事务所 |
代理人 |
马勇刚 |
主权项 |
1、一种溶解附在衬底材料表面的二氧化锡晶体薄膜的方法,在常温常压下将附有二氧化锡膜的衬底材料淹没于配制的溶液中处理15分钟后,迅速取出冲净,其特征在于溶液由浓盐酸、浓氢氟酸、钛丝(或钛粉)组成,浓盐酸和浓氢氟酸的用量按体积比为80-95%和20-5%,钛丝(或钛粉)的用量为每立方米溶液150-200千克。 |
地址 |
云南省昆明市北环路56号 |