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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TRAEGERN ZUR MONTAGE VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD247999(A1) 申请公布日期 1987.07.22
申请号 DD19860288986 申请日期 1986.04.10
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "ANNA SEGHERS" NEUHAUS,DD 发明人 DOBERSCHUETZ,FRANK-MICHAEL,DD;GUTJAHR,UWE,DD;LAUTENSCHLAEGER,PETER,DD;THIELEMANN,JOACHIM,DD;SIEMUND,MARION,DD
分类号 H01L21/58;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/58;H01L21/96 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
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