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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62114439(U) 申请公布日期 1987.07.21
申请号 JP19860001498U 申请日期 1986.01.08
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H05G1/00;H05G2/00;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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