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发明名称 CONDUCTING SUPER THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS62163205(A) 申请公布日期 1987.07.20
申请号 JP19860002998 申请日期 1986.01.10
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 KAWABATA KOJIRO;NAKAMURA TAKAYOSHI;MATSUMOTO MUTSUYOSHI;TANAKA MOTOO;SEKIGUCHI TATSUO;MANDA EIICHIRO;SAITO GUNJI
分类号 H01L21/3205;B32B7/02;B32B9/00;C07D339/06;H01B1/12;H01B5/14;H01B13/00;H01L23/52;H01L49/02 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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