| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING PRODUCT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62163953(A) |
申请公布日期 |
1987.07.20 |
| 申请号 |
JP19860308071 |
申请日期 |
1986.12.25 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
RAJIYAASHI REI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01B11/24;G01N21/956;H01L21/66;H04N7/18 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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