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发明名称 PLASMA CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPS62161079(A) 申请公布日期 1987.07.17
申请号 JP19860001351 申请日期 1986.01.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKASE HARUHIKO
分类号 G21B1/11;G21B1/00;H05H1/12 主分类号 G21B1/11
代理机构 代理人
主权项
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