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发明名称 METHOD OF CRYSTALLINE SEMICONDUCTORS PRODUCTION AND DEVICE FOR REALIZATION OF THIS METHOD
摘要
申请公布号 CS251544(B1) 申请公布日期 1987.07.16
申请号 CS19850005912 申请日期 1985.08.15
申请人 CERVENAK,JAN,CS;DUHAJ,PAVOL,CS 发明人 CERVENAK,JAN,CS;DUHAJ,PAVOL,CS
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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