| 发明名称 |
MODULAR V-CVD DIFFUSION FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0143697(A3) |
申请公布日期 |
1987.07.15 |
| 申请号 |
EP19840402333 |
申请日期 |
1984.11.16 |
| 申请人 |
B T U ENGINEERING CORPORATION |
发明人 |
SARKOZY, ROBERT F. |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B31/10;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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