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发明名称 MOVING STAGE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS62159088(A) 申请公布日期 1987.07.15
申请号 JP19860001183 申请日期 1986.01.07
申请人 CANON INC 发明人 IIZUKA KAZUO
分类号 G05D3/00;G12B5/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
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