| 发明名称 |
ELEKTRONENSTRAHLVERDAMPFER MIT ZWEI MAGNETISCHEN ABLENKSYSTEMEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH661288(A5) |
申请公布日期 |
1987.07.15 |
| 申请号 |
CH19840004536 |
申请日期 |
1984.09.21 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
RANKE, HORST, DR.;BAUER, VOLKER |
| 分类号 |
C23C14/30;C23C14/32;H01J37/147;H01J37/30;H01J37/305;(IPC1-7):C23C14/30;H01J3/00;H01J37/141 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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