发明名称 Modulation-doped field-effect transistor.
摘要 <p>Die Erfindung betrifft einen modulationsdotierten Feldeffekttransistor (MODFET), der einen n-leitenden Kanal besitzt. Dieser wird durch eine Heterostruktur erzeugt aus einer modulationsdotierten Si1-xGex-Schicht sowie einer undotierten Si-Schicht.</p>
申请公布号 EP0228516(A2) 申请公布日期 1987.07.15
申请号 EP19860114171 申请日期 1986.10.14
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 DAMBKES, HEINRICH, DR.-ING.;HERZOG, HANS J., DIPL.-PHYS.;JORKE, HELMUT, DIPL.-PHYS.
分类号 H01L29/165;H01L29/36;H01L29/47;H01L29/778 主分类号 H01L29/165
代理机构 代理人
主权项
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