| 摘要 |
Dispositif d'insolation pour la génération de masques à partir d'un système de conception assistée par ordinateur, comprenant un tube à rayons cathodiques qui fournit une image du masque sur l'écran du tube, ainsi q'un système optique qui projette l'image du masque sur un support à insoler. Le tube à rayons cathodiques est un tube à haute brillance dont l'écran est muni premièrement d'un luminophore émettant dans l'ultraviolet, et deuxièmement d'un circuit de refroidissement du luminophore, ce système optique étant un système optique pour l'ultraviolet qui opère sur l'image ultraviolette fournie par l'écran du tube à haute brillance. |
